超高真空装置回転ステージ
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概要
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超高真空装置用のオイルフリーの 86mm内径の回転ステージを開発した。 2本のテフロン製Uリングを使用し,さらにシールの間を差動排気することにより,回転ステージを取り付けた真空チェンバーでベーキングをせずに 10^-^9Torr台の真空が達成できた。
- 北海道大学の論文
著者
-
中坪 俊一
北大・低温研
-
香内 晃
北海道大学低温科学研究所
-
香内 晃
北大低温研
-
中坪 俊一
北大低温研
-
中坪 俊一
北海道大学低温科学研究所
-
瀬川 鉄逸
北海道大学低温科学研究所
-
香内 晃
北海道大学・低温科学研究所
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