試料の姿勢制御を伴ううねりの小さい表面凹凸断面曲線の測定
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概要
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This paper presents the new technique to measure the surface roughness profiles correcting an orientation of specimen surface in one operation. The contact stylus profilometer is equipped with the table whose inclination is controlled by the computer. The positioning of the stylus tip in the vertical direction is corrected at the same time. For assuring to measure profiles in length of 5.6mm, the surface profile data for control is demanded to be obtained in the length of 1mm. This measuring length varies depending on form errors such as the waviness. Then this paper gives the new technique to correspond the above-mentioned problem.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-11-05
著者
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