三次元表面凹凸測定機における試料表面姿勢制御に関する研究
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概要
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When we measure three-dimensional surface roughness, higher skill is demanded to locate the specimen surface within a range of profilometer. From this need, the authors developed the three-dimensional profilometer to measure micro irregularities of surface by applying a commercial stylus profilometer. The developed system was controlled automatically the orientation of specimen table by the micro-computer. This computer calculates the inclinations of table in X- and Y-directions and the height to keep the diamond stylus in a measuring range. The height was corrected in an accuracy of 0.1μm and the inclination of table in about 0.02μm/mm.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-04-05
著者
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