空気圧制御による防振装置の研究
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概要
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In order to isolate a table from vibrations of a floor, the table is supported on an air-spring. To improve its characteristics of isolation, a servo-controlled actuator regulates the air in the air-spring so that the movement of the table can be kept as small as possible. A prototype of such vibration isolation system is constructed in which control signals are made up of the velocity and displacement of the floor and of the isolated table's ones. The effects of these four control signals are discussed theoretically and experimentally. In order to make this active control effective, the characteristics of the air-spring itself must be made optimum in advance.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1984-06-05
著者
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