DC反応スパッタ法によるTiN薄膜の作製とその色彩特性
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概要
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対向ターゲット式スパッタ装置を用い,ArガスとN_2ガスの混合雰囲気下で直流スパッタリングを行い,TiN薄膜を作製した。得られた膜の色彩,結晶構造,および微細構造をそれぞれ分光光度計,X線回折装置および走査型電子顕微鏡を用いて調べた。膜の色彩分析には色度値x,yおよび明度の指標となる刺激値Yを用いた。その結果,ArとN_2の適切な混合比でx,yの値が金のそれに最も近くなること,スパッタガス圧が低いほど刺激値Yが高いことを見いだした。これらの結果はX線回折結果および走査型電子顕微鏡による膜の微細構造の観察結果により説明できる。以上の結果を用いて,金および銅に近い色彩を持つ膜を銅板上に成膜し,金属工芸への応用の可能性を検討した。
- 富山大学の論文
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