電界放射顕微鏡を用いた圧力測定
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概要
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A new method for measuring vacuum pressure by field emission microscopy is described The relationship between the time constant of exponential decay of field emission current caused by the adsorption of residual gas and the ambient pressure has been derived and examined. The method allows to measure the pressure below x-ray limit of the conventional Bayard-Alpert ionization pressure gauge.
- 東海大学の論文
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