超高速パルス光を用いたサーモリフレクタンス法によるナノ薄膜・界面の熱物性評価
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概要
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- 2013-05-10
著者
-
Baba Tetsuya
Department Of Pure And Applid Sciences University Of Tokyo:national Research Laboratory Of Metrology
-
馬場 哲也
(独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
竹歳 尚之
(独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
八木 貴志
(独) 産業技術総合研究所 計測標準研究部門
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