Si基板上への(001)配向MgO薄膜の作製
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概要
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- 2013-03-01
著者
-
斉藤 好昭
株式会社東芝研究開発センター
-
杉本 諭
東北大学大学院工学研究科材料物性学
-
手束 展規
東北大学大学院工学研究科
-
吉田 昌弘
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
-
小野寺 学史
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
-
斉藤 好昭
株式会社東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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