スパッタリング法によるKNN系非鉛強誘電体薄膜の作製とその加工技術
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概要
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- 2012-10-01
著者
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野本 明
日立電線(株)アドバンスリサーチセンタ
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三島 友義
日立電線(株)
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柴田 憲治
日立電線(株)
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黒川 文弥
京都大学大学院
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三島 友義
日立電線(株)技術開発本部 技術研究所先端電子材料研究部
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堀切 文正
日立電線(株)技術開発本部 技術研究所先端電子材料研究部
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神野 伊策
神戸大学大学院工学研究科
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渡辺 和俊
日立電線(株)技術開発本部 技術研究所先端電子材料研究部
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末永 和史
日立電線(株)技術開発本部 技術研究所先端電子材料研究部
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野口 将希
日立電線(株)技術開発本部 技術研究所先端電子材料研究部
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