コヒーレントEUVスキャトロメトリ-顕微鏡用光源としての13.5-nm高次高調波発生システムの開発
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概要
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- 2011-12-08
著者
-
永田 豊
理化学研究所
-
緑川 克美
理化学研究所 緑川レーザー物理工学研究室
-
緑川 克美
(独)理化学研究所 基幹研究所
-
原田 哲男
兵庫県立大学
-
木下 博雄
兵庫県立大学
-
緑川 克美
理研レーザー物理工学研究室
-
緑川 克美
(独)理化学研究所高強度軟x線アト秒パルス研究チーム
-
緑川 克美
(独)理化学研究所基幹研究所
-
永田 豊
(独)理化学研究所基幹研究所
-
木下 博雄
(独)理化学研究所基幹研究所
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