酸素プラズマ処理によるシリコン添加DLC膜の低摩擦化
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概要
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- 日本トライボロジー学会の論文
- 2009-11-15
著者
-
川口 雅弘
長岡技術科学大学 大学院
-
崔 〓豪
産業技術総合研究所
-
加藤 孝久
東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻
-
加藤 孝久
東京大学 大学院工学系研究科
-
崔 〓豪
東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻
-
角田 篤史
東京大学 大学院
-
熊谷 知久
東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻
-
川口 雅弘
東京都立産業技術研究センター 先端加工グループ
-
崔 〓豪
東京大学 大学院工学系研究科
-
熊谷 知久
東京大学 大学院工学系研究科
-
川口 雅弘
東京都立産業技術研究センター
-
川口 雅弘
東京都立産業技術センター
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