Nb_3Al薄膜スパッタ用ターゲット
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概要
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- 1998-10-13
著者
-
我妻 洸
産総研
-
我妻 洸
電子技術総合研究所
-
立石 裕
電子技術総合研究所
-
新井 和昭
電子技術総合研究所
-
斉藤 隆
株式会社 フジクラ
-
二木 直洋
株式会社 フジクラ
-
斉藤 隆
フジクラ 材料技研
-
二木 直洋
株式会社フジクラ
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