RFスパッタ用Nb_3Alターゲット : σ相(Nb_2Al)粉末を用いて
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-11-18
著者
-
斉藤 隆
(株)フジクラ
-
定方 伸行
(株)フジクラ
-
我妻 洸
産総研
-
我妻 洸
電子技術総合研究所
-
立石 裕
電子技術総合研究所
-
新井 和昭
電子技術総合研究所
-
二木 直洋
(株)フジクラ
-
二木 直洋
株式会社フジクラ
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