薄膜スパッタ用Nb_3Al単相ターゲット
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概要
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- 1999-06-07
著者
-
齊藤 隆
フジクラ
-
立石 裕
産業技術総合研究所
-
立石 裕
産総研
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我妻 洸
産総研
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我妻 洸
電子技術総合研究所
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立石 裕
電子技術総合研究所
-
新井 和昭
電子技術総合研究所
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二木 直洋
フジクラ
-
二木 直洋
株式会社フジクラ
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