Preparation of macroporous semiconductor gas sensors and their odur sensing properties (特集 VOCガスのセンシング)
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概要
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Macroporous (mp-) oxide films (SnO2, WO3 and In2O3) were fabricated by a modified sol-gel technique employing polymethylmethacrylate (PMMA) microspheres as a template. NH3 responses of all the mp-oxide films prepared were much lower than those of reference (R-) oxide films fabricated by screen printing of the sol-gel driven powder, probably due to less reactivity of NH3 originating from their macroporous structure. On the other hand, mp-oxide films, especially mp-In2O3, showed much larger H2S response than R-oxide films. Furthermore, the addition of CuO was quite effective for improving the H2S response and the recovery speed of mp-In2O3.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-04-01
著者
-
兵頭 健生
Dep. Of Materials Sci. And Engineering Fac. Of Engineering Nagasaki Univ. 1-14 Bunkyo-machi Nagasaki
-
Hyodo Takeo
Faculty Of Engineering Nagasaki University
-
江頭 誠
長崎大工
-
清水 康博
長崎大学工学部材料工学科
-
江頭 誠
長崎大学生産科学研究科
-
Egashira Makoto
Faculty Of Engineering Nagasaki University
-
Shimizu Yasuhiro
Department Of Surgery Aichi Cancer Center Hospital
-
NONAKA Shuhei
Graduate School of Science and Technology, Nagasaki University
-
SHIMIZU Yasuhiro
Faculty of Engineering, Nagasaki University
-
Nonaka Shuhei
Graduate School Of Science And Technology Nagasaki University
-
清水 康博
長崎大学大学院工学研究科
-
Shimizu Y
Faculty Of Engineering Nagasaki University
-
Shimizu Yasuhiro
Faculty Of Engineering Nagasaki University
-
清水 康博
長崎大学工学研究科物質科学部門
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