AlGaAs系化合物半導体におけるFIBダメージ層の評価
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概要
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- 2004-12-20
著者
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完山 正林
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
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為藤 さよ子
株式会社 松下テクノリサーチ薄膜分析グループ
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岡野 哲之
株式会社 松下テクノリサーチ薄膜分析グループ
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神前 隆
株式会社 松下テクノリサーチ薄膜分析グループ
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藪内 康文
株式会社 松下テクノリサーチ薄膜分析グループ
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岡野 哲之
松下テクノリサーチ
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神前 隆
株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
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藪内 康文
株式会社松下テクノリサーチ
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為藤 さよ子
株式会社松下テクノリサーチ半導体解析チーム
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