Co_<90>Fe_<10>スパッタ薄膜における Oblique-Incidence 効果
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概要
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- 2004-09-21
著者
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能崎 幸雄
九州大学
-
松山 公秀
九州大学
-
松山 公秀
九州大学大学院システム情報科学研究院
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能崎 幸雄
九州大学大学院システム情報科学研究院
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末永 純一
九州大
-
古賀 信之
北九州高専
-
千田 功
九州大
-
千田 功
九大院システム情報
-
NANJO Yuki
Hoechst Research and Technology Japan Ltd.
-
能崎 幸雄
慶応義塾大学 理工学部
-
古賀 信之
佐賀大,理工
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