超音波ねじり振動を利用した単結晶シリコンの延性モード切削

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 2000-09-01

著者

• 鈴木 秀幸

  東北大学生体調節外科

• 鈴木 秀幸

  富士工業

• 鈴木 秀幸

  千葉工業大学

• 鈴木 秀幸

  東京大学生産技術研究所

• 越水 重臣

  静岡理工科大

• 鈴木 秀幸

  富士工業(株)

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