半導体洗浄液SC-1中の化学種分析
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概要
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Chemical species in the standard clearning 1 (SC-1) solution for semiconductor cleaning process have been investigated by near-IR spectroscopy and ion chromatography. The rise of the electric conductivity in SC-1 solution at high temperature with the passage of time was due to nitrite ion (NO2-) and nitrate ion (NO3-), which were the oxidation products of ammonia(NH3).
- 2010-01-31
著者
-
鈴木 秀幸
東北大学生体調節外科
-
鈴木 秀幸
富士工業
-
鈴木 秀幸
千葉工業大学
-
鈴木 秀幸
東京大学生産技術研究所
-
鈴木 秀幸
富士工業株式会社
-
藁科 知之
沼津工業高等専門学校物質工学科
-
川崎 佑太
沼津工業高等専門学校専攻科
-
田村 義道
富士工業株式会社
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