DRAM 用誘電体Ba_xSr1_<1_x>TiO_3スパッタ膜の微細構造
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概要
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- 2001-12-20
著者
-
黒岩 丈晴
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
黒岩 丈晴
三菱電機株式会社先端技術総合研究所伊丹
-
友清 芳二
九州大学大学院工学研究院材料工学部門
-
土井良 一剛
株式会社本田技術研究所
-
田中 〓士
九州大学超高圧電顕室
-
田中 英士
九大
-
友清 芳二
九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門
-
友清 芳二
九州大学大学院 総合理工学研究院
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