次世代LSIに向けた新Cu-CMP技術について

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概要

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• 日本トライボロジ-学会の論文
• 2000-10-15

著者

• 松本 宗之

  ローム(株)

• 神澤 公

  ローム(株)

• 奥 良彰

  ローム(株)研究開発本部

• 奥 良彰

  ローム(株)半導体プロセス研究開発部

• 松本 宗之

  ローム(株)lsi技術部

• 神澤 公

  ローム(株)半導体プロセス研究開発部

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