神澤 公 | ローム(株)半導体プロセス研究開発部

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概要

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関連著者

• 松本 宗之

  ローム(株)lsi技術部

• 神澤 公

  ローム(株)半導体プロセス研究開発部

• 阪本 達哉

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 鈴木 恵友

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 鈴木 恵友

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)生産技術研究部

• 松本 宗之

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 神澤 公

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 松本 宗之

  ローム(株)

• 神澤 公

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  ローム(株)

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  ローム(株)

• 奥 良彰

  ローム(株)研究開発本部

• 奥 良彰

  ローム(株)半導体プロセス研究開発部

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著作論文

• スラリーレスCuCMP新技術
• スラリーレスCuCMP技術(第2報) CMP特性の制御例
• スラリーレスCuCMP技術(第1報) LSIへの適用
• 低圧高速研磨方式によるパターン依存性の改善
• 次世代LSIに向けた新Cu-CMP技術について

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