低圧高速研磨方式によるパターン依存性の改善

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概要

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• 1999-03-05

著者

• 阪本 達哉

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 鈴木 恵友

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 松本 宗之

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 神澤 公

  ローム株式会社 半導体研究開発部 半導体プロセス研究開発部

• 鈴木 恵友

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)生産技術研究部

• 松本 宗之

  ローム(株)lsi技術部

• 神澤 公

  ローム(株)半導体プロセス研究開発部

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