放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
スポンサーリンク
概要
著者
-
杉立 厚志
三菱電機株式会社
-
皆川 忠郎
三菱電機
-
南谷 靖史
三菱電機
-
中谷 元
三菱電機
-
南谷 靖史
三菱電機株式会社
-
皆川 忠郎
三菱電機株式会社
-
松下 嘉文
三菱電機株式会社
-
中谷 元
三菱電機株式会社
-
皆川 忠郎
伊丹製作所
関連論文
- B-10-78 半導体光増幅器に基づく3分岐型波長変換器を用いた全光XORゲート(B-10.光通信システムA(線路),一般セッション)
- ガス絶縁母線へのN_2/SF_6混合ガス適用に関する検討(II)
- 100Gイーサネット用25Gbps EA変調器集積DFBレーザモジュール(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- C-4-26 100Gイーサネット用25.8/28Gbps EAM-LDモジュールの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- ガス状不純物が除去可能なコロナ放電反応器のエキシマレーザとの組合せ特性
- KrFエキシマレーザガス寿命の繰り返し周波数依存性
- コロナ放電によるエキシマガス中のガス状不純物の除去
- KrFエキシマ励起放電中の陰極輝点とガス温度の検討
- 放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
- 1B14 技術経営の国際的変容に関する3極比較研究
- C-3-55 回転駆動式ポリマ導波路光スイッチの回転角度検討(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-10 ポリマ導波路光スイッチの回転駆動機構の検討(光スイッチ(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 10.7Gbit/s低消費電力Cooled TOSAの開発(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- 10.7Gbit/s低消費電力 Cooled TOSA の開発
- C-4-4 43Gbit/sドライバ内蔵EAM-LDモジュールの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-4-13 80℃動作43Gbit/s PD-TIAモジュールの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- カーボンナノチューブに吸着したSF_6分解ガスのFT-IR分光法を用いた同定
- C-4-31 10G-EPON ONU用光モジュールの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-4-22 100Gbpsイーサネット光受信モジュール用4ch-WDM光学系の開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-4-17 シリアル40Gbpsイーサネット用1.3μm EML TOSA(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- エキシマレーザー加工用転写光学系の開発
- 量産用KrFエキシマレーザの開発
- 10Gbit/s非冷却LDモジュールの給電回路の検討(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- B-10-64 低コスト10Gbit/s非冷却LDモジュールの開発(B-10.光通信システムB(光通信), 通信2)
- C-3-83 アクチュエータを実装した回転駆動式ポリマ導波路光スイッチ(光スイッチ,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 100Gイーサネット用25Gbps EA変調器集積DFBレーザモジュール(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 100Gイーサネット用25Gbps EA変調器集積DFBレーザモジュール(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 100Gイーサネット用25Gbps EA変調器集積DFBレーザモジュール(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 2.5〜40Gbit/s NRZ 動作可能な波長変換器の開発(MP(Lambda)S, フォトニックネットワーク/制御,光波長変換・スイッチング,一般)
- 2.5〜40Gbit/s NRZ 動作可能な波長変換器の開発(MP(Lambda)S, フォトニックネットワーク/制御,光波長変換・スイッチング,一般)
- 2.5〜40Gbit/s NRZ 動作可能な波長変換器の開発(MP(Lambda)S, フォトニックネットワーク/制御,光波長変換・スイッチング,一般)
- C-4-31 光アシスト光源を集積化した波長変換器素子(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス)
- C-4-15 非冷却 980nm 高出力 LD モジュール
- C-3-72 ポリマー導波路フィルムを用いた光スイッチに関する検討
- 980nmLDモジュールのキンクフリー光出力向上の検討
- 980nmLDモジュールのキンクフリー光出力向上の検討
- ホログラムビーム照射光学系による長周期ファイバーグレーティングの製作(2)-UV光前照射法による水素処理光感度一定化-
- ホログラムビーム照射光学系による長周期ファイバーグレーティングの製作
- C-3-56 屈折率グレーティングの経時変化解析
- 980nmLDモジュールのキンクフリー光出力向上の検討
- 固体高分子電解質膜を用いた電解式除湿器の水移動特性
- 100Gbpsイーサネット用光受信モジュールにおける4ch波長分離光学系の開発(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 100Gbpsイーサネット用光受信モジュールにおける4ch波長分離光学系の開発(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 100Gbpsイーサネット用光受信モジュールにおける4ch波長分離光学系の開発(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 100Gbpsイーサネット用光受信モジュールにおける4ch波長分離光学系の開発(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- CI-1-5 光ファイバ通信向けTOSA/ROSA技術(CI-1.ユビキタスネットワークを支える次世代光コンポーネント・実装技術,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
- C-3-42 4チャネルWDM DEMUXを内蔵した100Gbpsイーサネット用光受信モジュールの開発(光インターコネクション・光モジュール,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- エレクトロニクス分野におけるエキシマレーザー加工の応用
- エキシマレーザの高効率転写加工光学系
- エキシマレーザアブレーションによる誘電体多層膜マスクパターン形成
- Excimer Laser加工機における光学部品の選択とその取り扱い
- 高効率・大面積エキシマアブレーション加工装置の開発
- パルスパワーを用いたコロナリアクタによるSF6の分解除去
- SF_6分解ガスを定量する固体電気化学センサ
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発ー複合型固体電解質センサの基礎特性ー
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発 -電流出力型固体電解質センサの基礎特性-
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発 -電圧出力型固体電解質センサの基礎特性-
- F化合物を検出する固体電解質ガスセンサ(1)HFに対する検出効果
- 高性能GISガススローリーク検出装置の開発
- 高経年GISにおけるOリングの劣化特性
- 980nmLDモジュールのキンクフリー光出力向上の検討
- エキシマレーザ励起放電内に含まれる陰極輝点の光学的観測と温度の測定
- コロナ放電を用いたエキシマレーザガス浄化装置の開発
- 電荷移動を伴う熱科学現象研究会
- 長周期ファイバグレーティングの曲げによる温度補償法
- エキシマレーザのパルスエネルギーばらつきの改善
- C-4-13 超高精細映像伝送用25Gbps光リンクの提案(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- B-10-92 SOA-MZI型波長変換器を用いた全光XORゲート(B-10.光通信システムB(光通信方式,光通信機器,デバイスのシステム応用,光通信網・規格),一般セッション)
- C-4-10 フィードバック制御によるダイナミックレンジ拡大波長変換器の10.3Gbps動作実証(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-4-24 10G-EPON OLT用トリプレクサモジュールの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-60 面内テーパ構造による厚み方向Si導波路スポットサイズ変換器(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- SOA-MZI型波長変換器を用いた縦続接続可能な全光XORゲート(フォトニックネットワーク関連技術,一般)
- C-4-8 43Gbps RZ-DQPSK送信器用MZ変調器集積波長可変DFBレーザアレイの開発(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- C-4-18 RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法
- ポリマー碍管の長期信頼性に関する検討および評価
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- RuドープInP埋込構造AlGaInAs 25.8Gbps直接変調DFBレーザ
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法
- ポリマー碍管の長期信頼性に関する検討および評価
- ポリマー碍管の長期信頼性に関する検討および評価
- SOA-MZI型波長変換器を用いた全光ネットワークコーディングの実験的検討(【光通信機器】光変復調方式,多値光変復調,コヒーレント光通信,非線形・偏波問題,分散補償デバイス,光信号処理,光測定器,光通信用ディジタル信号処理,光通信計測,光通信用LSI,誤り訂正,一般)