エキシマレーザアブレーションによる誘電体多層膜マスクパターン形成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1995-03-10
著者
-
皆川 忠郎
三菱電機
-
田中 正明
三菱電機(株)
-
松下 嘉文
三菱電機株式会社
-
出雲 正雄
三菱電機(株) 伊丹製作所
-
頭本 信行
三菱電機(株) 生産技術センター
-
八木 俊憲
三菱電機(株) 生産技術センター
-
田中 正明
三菱電機 応用機器研
-
田中 正明
三菱電機先端技術総合研究所
-
田中 正明
先端技術総合研究所
-
皆川 忠郎
伊丹製作所
-
頭本 信行
三菱電機株式会社 生産技術センター
-
八木 俊憲
三菱電機株式会社 生産技術センター
-
出雲 正雄
伊丹製作所
-
出雲 正雄
三菱電機 伊丹製作所
-
松下 嘉文
三菱電機 伊丹製作所
-
頭本 信行
三菱電機 生産技術センター
-
田中 正明
三菱電機
-
八木 俊憲
三菱電機
関連論文
- ガス絶縁母線へのN_2/SF_6混合ガス適用に関する検討(II)
- ac-PDP放電の電圧立ち上がり速度依存性と電力の投入式
- ac-PDP放電の電圧立ち上がり速度依存性と電力投入式の導出
- 放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
- 6)AC型PDPの種火放電と画質評価(情報ディスプレイ研究会 : 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- 5)AC-PDPにおける補助放電を用いた高速書き込みの検討(情報ディスプレイ研究会 : 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- AC型PDPの種火放電と画質評価
- AC-PDPにおける補助放電を用いた高速書き込みの検討
- ac-PDPにおけるプライミングと画像応答速度
- カーボンナノチューブに吸着したSF_6分解ガスのFT-IR分光法を用いた同定
- 高集光・高効率LD励起ロッド型レーザーと高出力波長変換技術
- 輝度・色画像分離方式液晶プロジェクタ : 放送方式
- 輝度・色画像分離方式液晶プロジェクタ
- 11)輝度・色画像分離方式液晶プロジェクタ(放送方式研究会)
- オゾナイザの最大オゾン収率
- 無声放電の研究と応用について
- 周波数可変方式を用いた大容量オゾナイザの放電安定制御
- 両電極冷却型円筒オゾナイザのガス温度
- 酸素原料オゾナイザの電極表面の錆がオゾン発生に及ぼす影響
- 無声放電式オゾナイザの最大オゾン収率
- 無声放電による酸化性ガス発生と酸化薄膜形成への応用 : 酸素、オゾン、酸素原子の比較
- PDPの放電計測と電気諸特性 (特集 放電の原点と最前線技術)
- 無声放電の応用と放電特性 : オゾナイザ、CO_2レーザ、PDP
- 無声放電のマクロ的モデル化とPDPの電気的特性解析
- 高精細面放電型AC-PDPにおける狭隣接セル間ギャップの検討
- V-Q Lissajous図形を用いたac PDPの放電計測
- PDP放電のマクロシミュレーションと無声放電の統一的理解
- 7)AC-PDPにおける無効電力回収回路の高効率化(情報ディスプレイ研究会 : 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- AC-PDPにおけるアドレス電力回収回路の特性
- 高輝度・高精細面放電型AC-PDPの開発
- エキシマレーザー加工用転写光学系の開発
- 量産用KrFエキシマレーザの開発
- グリｰンレｰザｰによる低温ポリシリコン化アニｰル
- 平凸レンズによるCO2レ-ザ-ビ-ムの集光特性
- AC-PDPにおける無効電力回収回路の高効率化
- AC-PDPにおける無効電力回収回路の高効率化
- 無声放電の放電維持電圧の特性
- 高周波無声放電によるCO2レ-ザ励起
- オゾナイザの諸特性 (オゾン関連技術)
- 超高感度カメラによる空気,酸素,窒素中での無声放電の観測
- 酸素・窒素混合気体の無声放電によるオゾン生成
- イメ-ジ・インテンシファイヤによる無声放電の観測
- 無声放電式オゾナイザの酸素原料オゾン発生特性
- 無声放電式オゾナイザの酸素原料と比較した空気原料の場合のオゾン発生特性
- 無声放電によるオゾン発生に与えるNOxの影響
- 大出力CO_2レーザにおける出力鏡への改良型強制空冷の効果
- 高輝度・高精細面放電型AC-PDPの開発
- AC-PDPにおける誘電体・蛍光体表面の電荷の寿命
- エレクトロニクス分野におけるエキシマレーザー加工の応用
- エキシマレーザの高効率転写加工光学系
- エキシマレーザアブレーションによる誘電体多層膜マスクパターン形成
- Excimer Laser加工機における光学部品の選択とその取り扱い
- 高効率・大面積エキシマアブレーション加工装置の開発
- SF_6分解ガスを定量する固体電気化学センサ
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発ー複合型固体電解質センサの基礎特性ー
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発 -電流出力型固体電解質センサの基礎特性-
- GIS故障点標定のための分解ガスセンサの開発 -電圧出力型固体電解質センサの基礎特性-
- AC型PDPの種火放電と画質評価
- AC-PDPにおける補助放電を用いた高速書き込みの検討
- 薄板の超高速切断用CO_2レーザー発振器の開発
- 間欠オゾン注入による淡水モデル水管路の生物付着防止効果
- 低圧無声放電式活性酸素発生機とその水処理への適用
- V-Q Lissajous 図形を用いたac-PDPの放電諸量の測定
- V-Q Lissajous図形を用いたac-PDPの放電計測
- 無声放電の産業応用と放電現象の体系化
- 無声放電式活性酸素発生機と酸化薄膜形成に於ける酸化力
- エキシマレ-ザ-高速微細穴明け装置の開発
- 水-活性酸素エゼクター式水処理装置
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法
- 高経年開閉機器の劣化評価におけるグリースの劣化診断手法