無声放電による酸化性ガス発生と酸化薄膜形成への応用 : 酸素、オゾン、酸素原子の比較
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概要
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- 2001-12-11
著者
-
田中 正明
三菱電機(株)
-
田中 正明
三菱電機株式会社先端技術総合研究所レーザ応用技術部
-
民田 太一郎
三菱電機(株)
-
民田 太一郎
三菱電機株式会社
-
山西 健一郎
三菱電機株式会社
-
田中 正明
三菱電機 応用機器研
-
田中 正明
先端技術総合研究所
-
田中 正明
三菱電機株式会社
-
山西 健一郎
三菱電機(株)生産技術センター
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