南谷 靖史 | 三菱電機株式会社

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概要

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• 南谷 靖史

  三菱電機

• 南谷 靖史

  三菱電機株式会社

• 中谷 元

  三菱電機

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• 杉立 厚志

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• 斉藤 善夫

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  伊丹製作所

• 佐藤 行雄

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• 伊藤 寛

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• 杉立 厚志

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  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 杉立 厚志

  三菱電機

• 伊藤 寛

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

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著作論文

• KrFエキシマレーザガス寿命の繰り返し周波数依存性
• KrFエキシマ励起放電中の陰極輝点とガス温度の検討
• 放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
• 量産用KrFエキシマレーザの開発
• コロナ放電を用いたエキシマレーザガス浄化装置の開発

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