スパッタ法でAl-Mg合金基板上に成膜したAlN薄膜の防食特性および皮膜構造に与える成膜時のArガス圧の影響
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概要
著者
-
中山 武典
(株)神戸製鋼所材料研究所
-
山本 兼司
(株)神戸製鋼所 技術開発本部
-
中山 武典
(株)神戸製鋼所
-
佐藤 廣士
(株)神戸製鋼所材料研究所
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山本 兼司
(株)神戸製鋼所材料研究所
-
佐藤 廣士
株式会社神戸製鋼所 技術開発本部
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