AIP法により作製したTiN, CrN, Cr_2NおよびAlTiN膜の熱膨張率および二軸弾性率の温度依存性
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概要
著者
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佐藤 俊樹
(株)神戸製鋼所材料研究所
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佐藤 俊樹
(株)神戸製鋼所 材料研究所
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山本 兼司
(株)神戸製鋼所 技術開発本部
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佐藤 俊樹
神戸製鋼
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佐藤 俊樹
神戸製鋼所
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山本 兼司
(株)神戸製鋼所材料研究所
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佐藤 俊樹
株式会社神戸製鋼所材料研究所
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岩村 栄治
(株)神戸製鉄所 開発推進センター
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佐藤 俊樹
(株)神戸製鋼所 技術開発本部 材料研究所
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