反射・半透過膜用Ag-Nd-Cu合金薄膜およびスパッタリングターゲットの開発
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概要
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- 2003-03-20
著者
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佐藤 俊樹
(株)神戸製鋼所 材料研究所
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佐藤 俊樹
神戸製鋼
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中井 淳一
株式会社神戸製鋼所材料研究所
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佐藤 俊樹
神戸製鋼所
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藤井 秀夫
コベルコ科研
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佐藤 俊樹
株式会社神戸製鋼所材料研究所
-
高木 勝寿
株式会社コベルコ科研ターゲット事業本部
-
田内 裕基
株式会社コベルコ科研ターゲット事業本部
-
藤井 秀夫
株式会社コベルコ科研ターゲット事業本部
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