光ディスク反射膜用Ag合金における添加元素と薄膜微細構造との相関 (特集:薄膜技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 中井 淳一

  株式会社神戸製鋼所材料研究所

• 藤井 秀夫

  コベルコ科研

関連論文

• 光ディスク用高耐久性および高反射率Ag-Bi系合金反射膜の開発 (特集:微細組織制御技術)
• 反射・半透過膜用Ag-Nd-Cu合金薄膜およびスパッタリングターゲットの開発
• 銀薄膜の耐食性に及ぼす合金元素添加効果 (特集:薄膜技術)
• 光ディスク反射膜用Ag合金における添加元素と薄膜微細構造との相関 (特集:薄膜技術)
• 液晶ディスプレイ用AI配線におけるボイド形成メカニズムとその抑制対策 (特集 電子・電気材料/機能性材料)

スポンサーリンク