原子状水素によるGaAs(001)基板表面の超平坦化と純立方晶GaNの分子線エピタキシャル成長

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1998-11-20

著者

• 小林 正和

  千葉大学工学部電子機械工学科

• 吉川 明彦

  千葉大学工学部電子機械工学科

• 吉川 明彦

  千葉大学工学部

• 泰 志新

  千葉大学工学部電子機械工学科

• 賈 岸偉

  千葉大学工学部電子機械工学科

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