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Irie Koken Co. Ltd. Saitama Jpn | 論文
- プラズマ中のダスト挙動の解析とクーロン結晶の形成
- Si(NCO)_4添加のフロロカーボンプラズマを用いた低誘電率絶縁膜のCVD
- 3.強結合ダストプラズマの結晶化と遷移(ダストプラズマの現状と課題)
- クーロン結晶と強結合プラズマ
- テトライソシアネートシランを用いたSiO_2膜の堆積
- ミ-散乱エリプソメトリ- -プラスマ中微粒子成長過程の新しいインプロセス計測法-
- ダストプラズマ研究における国際協力
- テトライソシアネートシランを用いたSiO:F膜のプラズマCVD
- Multilevel Aluminum Dual-Damascene Interconnects for Process-Step Reduction in 0.18 μm ULSIs
- Multilevel Aluminum Dual-Damascene Interconnects (Al-DDI) for Process-Step Reduction in 0.18um-ULSIs
- プラズマ科学の開発と応用 プラズマCVDによるカーボンナノチューブの成長
- プラズマ化学反応によるカーボンナノチューブの成長
- 微粒子プラズマの性質と基礎実験 (小特集1 低気圧放電プラズマ中における微粒子の挙動とその制御)
- Diagnostics of Fluorocarbon Radicals in a Large-area Permanent Magnet Electron Cyclotron Resonance Etching Plasma
- 表面波励起マイクロ波プラズマによる大面積基板への配向カーボンナノチューブの作製
- Bias-enhanced Nucleation of Oriented Diamond on Singlecrystalline 6H-SiC Substrates
- Diamond Nucleation on Singlecrystalline 6H-SiC Substrates by Bias-Enhanced Nucleation in Hot Filament Chemical Vapor Deposition
- Plasma Copolymerization of Tetratluoroethylene/Hexamethyldisiloxane and In Situ Fourier Transform Infrared Spectroscopy of Its Gas Phase
- 講演 ダストプラズマ中のク-ロン結晶による結晶モデル (特集:平成8年度若手セミナ-「Virtual Realityで放電プラズマを科学する」--放電シミュレ-ションのカンどころ(2))
- SVI-1 微粒子プラズマ結晶と微小重力下実験(シンポジウムVI : 微小重力におけるコンプレックスプラズマ)