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立命館大学 理工学部 機械工学科 | 論文
- X線を利用したマイクロ・ナノ加工技術とその応用
- 4th International Workshop on High-Aspect High-Aspect Ratio Micro-Structure Technology
- フライブルク大学 マイクロシステム技術学科(ドイツ)
- T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- TMAH水溶液によるSi結晶異方性エッチング
- X線照射を用いたマイクロキャピラリ用傾斜側壁の加工技術
- X線照射加工を用いたDNA分析用マイクロキャピラリアレイチップ
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
- 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
- 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ
- 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析
- UV厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作
- 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
- 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
- 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
- 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製