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産業技術総合研究所環境化学技術研究部門 | 論文
- 低エネルギーイオンビームプロセス (小特集 イオン技術の新しい発展)
- イオンビーム誘起CVDによる有機ケイ素を用いたアモルファス炭化ケイ素薄膜の作製
- ブリュアン光散乱法を用いたSiC薄膜の非破壊評価
- イオンアシスト蒸着のためのインバータープラズマ装置
- インバータ電源による両極性パルスDC放電プラズマ特性
- 有機金属イオンビーム法によるシリコン基板上への3C-SiC薄膜の低温ヘテロエピタキシャル成長
- ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法
- 27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)
- 有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長
- 23pB-1 インバーター電源生成によるプラズマ特性
- 低エネルギーイオンビーム堆積法におけるビームの質の検討
- 有機ケイ素イオンビームによるSiC結晶成長
- フリーマン型ガスイオン源によるイオンビームの特性
- フリーマン型スパッターイオン源の開発とその製膜への応用
- Cu(111)上に常圧で合成したフォーメート種のSTM観察
- メタノ-ル合成モデル触媒にみる活性点の機能
- 減圧残油の水素化分解(第3報) : 水素化熱分解と水素化分解の複合プロセス
- 工業技術院から産業技術総合研究所へ
- 減圧残油の水素化分解(第2報)担持および非担持触媒による反応
- 非対称ポリイミド膜の熱処理による膜性能への影響