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東北大学大学院工学研究科 | 論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 正弦波モデルに基づく高品質音声変調の検討(聴覚・音響信号処理/一般)
- ネットワーク居住における親族的広がりの地域性 : 東北地方を事例として
- B-40 ネットワーク居住におけるコミュニケーションの実態と地域性(都市計画)
- 地域別ネットワーク居住実態の調査分析の枠組み : 仙台市を事例として
- 8111 ネットワーク居住の空間的広がりに関する研究 : 分散居住実態からみたネットワーク家族類型その2(コミュニティ関連,建築経済・住宅問題)
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験