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東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)
- マイクロチャネルを利用したλ-DNA単分子の分離と電極間への捕獲
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法
- 金対シリコン異種MEMS針端の接触による金原子移動の実時間観察
- 1121 MEMS可動の異種物質対向探針の作製と動作のTEM観察(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- C-2-78 Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- ロータリーステッパーモーターのパラメータ最適化の検討(ハードディスクドライブ+一般)
- 薄膜形状記憶合金アクチュエータの製作と応用
- 平成22年センサ・マイクロマシン部門総合研究会報告
- シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
- SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定(マイクロマシン特集号)
- SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
- フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減
- MEMS対向探針による金ナノコンタクト接近-衝突-引張-破断実験のHRTEM観察と電流測定
- ナノギャップを有する対向針状電極のTEM内の駆動とトンネル電流測定への応用
- [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
- マイクロマシーニング技術による熱膨張アクチュエーター体型ナノグリッパーの開発
- Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
- 生体分子モータを用いたハイブリッドナノ搬送システム
- 超微小チャンバーによる一分子バイオケミカルアッセイ