スポンサーリンク
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作
- パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
- 薄膜トランジスタ積層型ポリシリコン電子銃アレイの製造方法
- 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
- MEMS集積化フォトニック結晶導波路の作製と評価(半導体レーザ関連技術, 及び一般)
- 原子間力顕微鏡における探針のねじれ固有振動を用いた可視化手法 (プロダクションテクノロジー)
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- (マイクロマシン特集号)
- 走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング (マイクロマシン特集号)
- 円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用
- WS.4-7 ニッケル電鋳を応用した 3 次元マイクロ構造体の作製
- マイクロマシニングとしてのニッケル電鋳技術の応用
- マイクロパルス電解加工の研究
- マイクロパルス電解加工の研究
- ピーリング工具を用いた微細放電加工 : ピーリング工具の提案と実加工の試み
- ピーリング複合工具を用いた微細放電加工 : 複合異種材料の加工特性
- C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)