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日本真空技術 (株) 超材料研究所 | 論文
- 〔座談会〕 これからの真空科学とその応用
- 真空用Al合金の表面酸化膜構造とガス放出特性
- イオンビーム・ダイナミックミキシング法によるセラミックスのCu又はMoメタライゼーション
- ステンレス鋼に成膜した真空材料としてのTiN膜の特性と評価
- 化学研磨したステンレス鋼のガス放出特性
- 真空材料向け化学研磨によるアルミニウム合金の表面処理
- アルミニウム合金の低ガス放出表面処理
- 流路切り替え法によるアルミニウム合金からの水の放出速度測定
- 流路切り替え法によるステンレス鋼チャンバーのガス放出特性評価
- 流路切り替え法によるガス放出速度測定
- 電解研磨ステンレス鋼のガス放出特性と表面分析
- 電子線マイクロアナライザによる TiN 組成分析
- 活性化反応性蒸着による透明バリアーアルミナ膜の生成と評価
- 強誘電体スパッタ薄膜の組成制御および高速成膜技術
- 超短波帯プラズマ化学気相成長法によるSiNx膜の作製
- シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
- 極高真空用材料の真空特性
- 真空材料からのガス放出
- TiN 成膜したステンレス鋼の水素透過特性 (II)
- 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性