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山梨大学 大学院医学工学総合研究部 | 論文
- 統計的経験則のシミュレーション(一般講演IV)
- 多分岐型樹木構造接近法の性能の評価(工学・情報)
- G14-3 生存時間研究における多分岐樹木構造接近法の開発と検証(一般セッション(G14) : データマイニング)(第30回日本行動計量学会大会発表一覧)
- 生存時間研究における多分岐樹木構造接近法の開発と検証(データマイニング)
- 21704 超臨界流体による次世代製膜・埋め込み技術 : 「全流体式」フロー超臨界薄膜堆積装置の製作(配線1,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 超臨界流体を利用した薄膜形成技術とMEMS・NEMSプロセス応用 (貫通電極・貫通配線のマテリアル,加工技術)
- 704 超臨界温泉の研究 : 超臨界水中への鉱物融解可能性の基礎検討(計測・制御)
- 超臨界流体を利用した薄膜形成技術
- 20112 超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 : フロー式成膜実験装置を用いた堆積特性の検討(機械工学が支援する最先端デバイス技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 熱フィラメント水素ラジカル源を用いたCu表面処理(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids
- 20708 超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 : 連続・フロー式成膜実験装置の開発(機械工学が支援する半導体製造技術(II),OS13 機械工学が支援する半導体薄膜製造技術)
- 超臨界CO_2メタライゼーション : Ru堆積とCu/Ru/絶縁膜構造の実現
- 10GHzを超えるクロックのキャビティによる伝達方法とその特性
- 超臨界CO_2を用いた超微細加工
- Deposition of Cu and Ru Thin Films in Deep Nanotrenches/Holes Using Supercritical Carbon Dioxide
- 超臨界流体を利用した一貫メタライゼーションプロセスの可能性(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- 超臨界流体を利用した配線形成技術
- 多孔質低誘電率膜の微細構造
- 多孔質低誘電率薄膜の微細構造