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大阪大 大学院工学研究科 | 論文
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 加工装置の開発と基本的加工特性の取得
- 27pPSA-45 第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索(領域9ポスターセッション)(領域9)
- 高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
- 数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの薄膜化 : デバイス用基板としての加工面の評価
- 数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)によるSOIの薄膜化 : 加工装置の開発と超薄膜SOIウエハの試作
- プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価
- プラズマCVMによるSOlの数値制御薄膜化:薄膜化した8インチSOlウエハのデバイス特性
- プラズマCVMおよびEEMによるX線平面ミラーの加工と放射光による評価
- 数値制御プラズマCVMおよび数値制御EEMによる硬X線集光用超精密非球面ミラーの加工
- プラズマCVMおよびEEMによるX線光学素子の加工と放射光による評価
- レーザ誘起蛍光分光法による大気圧・高周波CF_4プラズマ中のラジカル密度の空間分布計測
- 3-10 バイオマスの2段階ガス化装置におけるチャーのガス化挙動((2)ガス化2,Session 3 バイオマス等)
- P-204 バイオマスの2段階ガス化チャーガス化炉におけるタールの分解特性について(ポスター発表)
- 3-21 2段階ガス化装置におけるチャーのガス化率とタールの分解特性((7)ガス化6,Session 3 バイオマス等,研究発表(口頭発表))
- O201 バイオマス小型2段階熱分解ガス化装置の開発(セッション1:技術〜熱化学〜,口頭発表)
- ゾウリムシの走化性メカニズムに基づいた移動ロボットの制御(バイオメカトロニクス/ミメティクス)
- 「X線集光技術の最先端とその利用に向けた将来展望」の企画にあたって
- TF-MPS法によるBWRスぺーサ周りの液滴挙動解析(原子炉伝熱流動解析の革新(2),原子炉伝熱流動解析の革新)
- 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報) -ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-