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兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 | 論文
- 極端紫外線露光装置の開発
- EUVリソグラフィ技術の現状
- 0.1μm以降をねらいとした極端紫外線露光技術の展望(EUV基盤技術とその応用の現状)
- 放射光を用いた3次元加工によるマイクロプローブの作製
- 高エネルギー粒子線および光子による模擬星間物質からのアミノ酸前駆体の合成
- 放射光励起反応を用いたアミノ酸前駆体生成
- 昭和 60 年度プラズマ研究所共同研究会「真空紫外・軟 X 線領域での測光機器較正法の研究」プログラム
- アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜表面のSi原子移動
- アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜中のSi原子移動(シリコン関連材料の作製と評価)
- 2p-K-3 激光XII号2ω光によるアブレーティブ圧縮
- 次世代リソグラフィ用レーザープラズマ極端紫外光源
- プレナーホール整流効果を用いた人工磁性体の非線形応答の検出
- 2901 高アスペクト比マイクロコイルの作製と評価(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 4102 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイル作製(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 4101 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ(S67-1 アクチュエータシステム(1),S67 アクチュエータシステム)
- 2311 カーボン基板を用いたX線マスクの開発(マイクロメカニズム,一般講演)
- UV-LIGAプロセスによる導光板の開発
- 特集に寄せて
- マイクロ流体デバイスの作製・実装方法(講座「ちょっとMEMS」第13回)
- 3次元ナノプロトタイピング法による多検体DNA解析チップの開発