次世代リソグラフィ用レーザープラズマ極端紫外光源

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概要

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• プラズマ・核融合学会の論文
• 2005-09-25

著者

• 西村 博明

  阪大レーザー研

• 村上 匡且

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 砂原 淳

  レーザー技術総合研究所

• 望月 孝晏

  兵庫県立大高度研

• 佐々木 明

  日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門

• 西村 博明

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター:(株)浜松ホトニクス:(有)キャトルアイ・サイエンス

• 佐々木 明

  日本原子力研究開発機構 関西光科学研究所

• 村上 匡旦

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 望月 孝晏

  兵庫県立大学高度産業科学技術研究所

• 村上 匡旦

  阪大レーザー研

• 蒲田 幸平

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 佐々木 明

  日本原子力研究所関西光量子科学研究センター

• 蒲田 幸平

  阪大レーザー研

• 望月 孝晏

  兵庫県立大

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

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