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不二越機械工業(株) | 論文
- 平坦化CMPにおけるナノトポグラフィとその低減を目指すマイクロモーション機構導入の両面同時ポリシング装置
- 加工雰囲気を制御したベルジャー型ポリシング(CAP)装置とそのCMP特性
- 希薄NaCl電解還元水を用いたシリコンウエハの精密研磨
- 修正キャリヤによるラップ定盤の面精度回復技術に関する研究 : 第2報, 加工圧力項を考慮した場合の修正特性
- 修正キャリヤによるラップ定盤の面精度回復技術に関する研究 : 第1報,ラップ定盤の摩耗特性について
- 圧力円筒容器ねじ端の有限要素解析(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 712 両面ラッピングの運動解析と形状精度の関係(工作機械の精度とフィクスチャリング)(OS.1 生産加工・工作機械)
- 遺伝的アルゴリズムを用いた4way方式定盤における半径方向溝割合の最適化
- ラップ定盤の高能率修正加工に関する研究--砥粒電着修正キャリヤによる高能率化
- 多刃切断加工技術(硬ぜい材料の高能率・高精度スライシング加工技術)
- 振動多刃方式による硬ぜい材料の切断に関する研究
- 超音波を利用したシリコンウエハのインプロセス厚さ測定
- 積分方程式への写像理論の応用および歯車解析 : 平野の方法への新しい展開および内点計算
- 歯形曲線を考慮した歯車学習の支援教材研究
- 歯車強度設計への境界積分方程式法の応用 : 第5報, 汎用化および多重連結問題への応用
- 弾性論による平歯車の簡易応力解析
- 曲がり梁の振動の有限要素法解析(汎用化および円弧梁の面外振動について)
- 各種境界積分方程式による応力解析と歯車モデルの検討
- 有限要素法による曲がり梁の振動解析(第1報, 変断面円弧棒の面内振動について)
- 積分方程式への写像理論の応用および歯車解析 : 境界積分方程式法による平歯車解析