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(株)デンソー 基礎研究所 | 論文
- 磁気抵抗素子とデジタル回路による車輪速センサの開発
- ディジタル処理による高精度化と複数パルス測定を可能とした時間A-D変換LSI
- 高速デジタル制御発振回路
- EL素子の等価回路に関する考察
- 高精度微小時間数値化LSI
- 時間/数値変換LSI
- 実時間マイクロVRカメラの試作
- デジタル処理による高精度化と複数パルス測定を可能とした時間A-D変換LSI
- AMAA (Advanced Microsystems for Automotive Applications) 2004 報告
- 深堀ドライエッチングによる微細部品形成
- 新規DRIE法によるSi高アスペクト比エッチングと側壁平坦化技術
- O_2 プラズマ照射による側壁保護膜を付加した新規なDRIE
- 新D-RIE加工の形状評価と側壁の平坦性向上
- 高アスペクト比櫛歯構造におけるダンピング解析
- 新しいD-RIEプロセスにおけるSi/SiO2マスクエッチング選択比の向上 (特集 部品加工技術:より高く・より広く・より深く・より速く)
- 二重側壁保護膜を用いた新しいディープRIE技術の開発 (特集 マイクロマシンルネサンス)
- SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
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- C-3-72 SOIハイメサ光導波路を用いた赤外吸収分光の検討(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
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