田中 政典 | 九州大学大学院システム情報科学研究院
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概要
関連著者
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田中 政典
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
宮尾 正信
九州大学大学院システム情報科学
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佐道 泰造
九州大学大学院システム情報科学
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佐道 泰造
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
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大賀 達夫
九州大学大学院システム情報科学研究院
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松本 光二
株式会社SUMCO
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榎田 豊次
福菱セミコンエンジニアリング分析評価センター
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榎田 豊次
福菱セミコン
著作論文
- SiGe/SOI構造の酸化現象とその解析(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術)
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- 水素照射型酸化濃縮法による歪緩和SiGe仮想基板の極薄化(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
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