八木 圭太 | (株)荏原製作所精密・電子事業カンパニーCMP事業部CMPプロセス室プロセス開発グループ

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概要

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• (株)荏原製作所精密・電子事業カンパニーCMP事業部CMPプロセス室プロセス開発グループの論文著者

関連著者

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 山内 和人

  阪大院工

• 辻村 学

  (株)荏原製作所

• 辻村 学

  株式会社荏原製作所精密・電子事業本部

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 山内 和人

  阪大工

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専

• 山内 和人

  大阪大学大学院 工学研究科

• 八木 圭太

  (株)荏原製作所精密・電子事業カンパニーCMP事業部CMPプロセス室プロセス開発グループ

• 辻村 学

  (株)荏原製作所精密・電子事業カンパニー

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学応用物理学専攻攻

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著作論文

• 半導体SiC基板の新しい研磨技術 : 触媒表面反応を利用した研磨技術の開発(話題の材料を活かす加工技術)

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