Kawamura K | Kochi Univ. Kochi Jpn

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概要

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• 同名の論文著者
• Kochi Univ. Kochi Jpnの論文著者

関連著者

• 青山 肇

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)超微細sr露光技術研究室(pxl研究室)

• 青山 肇

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• Aoyama Hajime

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• NAKAJIMA Anri

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• KAWAMURA Kazuo

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• Kawamura K

  Kochi Univ. Kochi Jpn

著作論文

• Isolated Nanometer-Size Si Dot Arrays Fabricated Using Electron-Beam Lithography, Reactive Ion Etching, and Wet Etching in NH_4OH/H_2O_2/H_2O

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