小泉 賢 | 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

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概要

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関連著者

• 小泉 賢

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 下川 公明

  沖電気研究本部デバイス研究開発部

• 長友 良樹

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• 伊藤 眞宏

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• 長友 良樹

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• 下川 公明

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• 山内 美知子

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 澤村 健司

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

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著作論文

• PECVD SiOF膜の構造検討(II)
• 高圧酸化法によるSTI形成技術の検討

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