Jablonski Jaroslaw | Komatsu Electronic Metals Co. Ltd. Hiratsuka Jpn

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概要

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関連著者

• Jablonski Jaroslaw

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd. Hiratsuka Jpn

• Jablonski Jaroslaw

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd.

• IMAI Masato

  Komatsu Electronic Metals Co., Ltd.

• Imai Masato

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd.

• SAITO Mina

  Komatsu Electronic Metals Co., Ltd.

• Saito M

  Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk Kanagawa Jpn

• KATAYAMA Tatsuhiko

  Komatsu Electronic Metals Co., Ltd.

• MIYAMURA Yoshiji

  Komatsu Electronic Metals Co., Ltd.

• Saito Mina

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd.

• Katayama Tatsuhiko

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd.

• Miyamura Yoshiji

  Komatsu Electronic Metals Co. Ltd.

• 宮村 佳児

  コマツ電子金属

• IKEGAYA Kazuyoshi

  Komatsu Electronic Metals Co., Ltd.

• JABLONSKI Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• 斎藤 美奈

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

• 片山 達彦

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

• Jablonski Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

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著作論文

• Oxygen Concentration in the Top Silicon Layer of Silicon-on-Insulator Materials Formed by Low-Dose Implantation of Oxygen
• Effect of Fe Impurities on the Generation of Process-Induced Microdefects in Czochralski Silicon Crystals
• 低ドーズSIMOXウェーハの埋込酸化膜におけるITOXの効果
• The Status and Future of Low-Dose SIMOX Technology

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